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2026.03.29
高阶材料整合能力

微污染控制膜

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微污染控制膜Micro Contamination Control Film

明基材料凭借深厚的材料科学底蕴,将核心技术由光学膜跨域整合至半导体关键制程。本次展出的半导体级聚烯烃多孔过滤膜 (High-Performance Polyolefin Porous Membrane),是专为极端精密过滤需求而生。

透过精准控制的微孔结构,该产品在维持高孔隙率的同时,确保了卓越的微小粒子拦截能力,能有效解决半导体微污染控制中的效能瓶颈,是提升制程良率的关键滤材。

 

核心功能细节

  • 高通量与高拦截率

    运用独家技术打造出均一且致密的微孔径网络,在极低压力损失下达成流体的高速通过,同时精准锁定并拦截微米级甚至奈米级杂质。
  • 卓越化学稳定性

    选用耐受性及洁净度极佳的聚烯烃材质,能抵御半导体制程中常见的各种化学溶剂,确保滤膜在长期运作下不释出杂质。
  • 微污染控制工艺

    每一环工法皆在高度洁净环境下完成,从源头杜绝金属离子与微尘污染。
     
  • 低 ESG 特性

    优化的生产工艺大幅降低能源消耗,且材料具备可回收潜力,协助半导体客户在追求产能的同时达成减碳目标。

使用场景分析

  •  

    半导体湿制程过滤

    用于清洗、蚀刻及显影设备中的化学品与纯水过滤。
  •  

    精密化学品输送

    在化学品分装或输送至机台前端时,作为最后一道微细杂质防线。


为什么选择明基材料

 选择明基材料,在于其深厚的技术积淀与跨领域的材料整合实力。透过精准掌握「卷对卷」、「高分子结构控制」与「押出延伸」三大核心技术,明基材料能针对半导体微污染控制,开发出兼具高通量、高拦截率与优异化学稳定性的顶尖滤材。
 
在追求极致效能的同时,更导入低 ESG 特性的生产工艺,协助客户在提升制程良率之际,亦能实践减碳目标;凭借稳定的量产质量与实时的在地化支持,明基材料是半导体产业迈向高阶材料转型最值得信赖的合作伙伴。
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